# 半導体・真空装置の Kovar・PEEK 部品加工事例

> 半導体・真空装置向けコンポーネント：6061/316 チャンパ部品、316LN CF フランジ、Kovar 4J29 と PEEK 切削部品を小ロット・高精度で50個から供給。既定公差 DIN ISO 2768-mK、EN 10204 3.1 検査成績書、FAIサンプル承認、48時間以内に見積もり、サンプル7–15日。

https://www.sinbo-machining.com/ja/case/semiconductor-vacuum-parts

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## On This Page

  - 代表部品ファミリー
  - 標準供給パラメータ
- 業界シナリオ：小ロット、特殊材料、近道を許さない品質
- 代表部品ファミリーと工程
- フロー：図面・サンプル承認・リピート量産
- 品質と書類
- よくある質問
  - 関連素材 · 関連サービス · 関連事例
- このような部品をご検討中ですか？

# 半導体装置向け Kovar・PEEK・真空コンポーネント
半導体・真空装置向けコンポーネント：6061/316 のチャンパ部品、316LN の CF フランジ、Kovar 4J29 と PEEK の切削部品。小ロット・高精度、50個から。 加工概要
### 代表部品ファミリー

|  真空チャンパ部品 |  6061 アルミ、316、フライス
|  CF フランジ |  316LN、旋盤
|  Kovar 部品・PEEK 部品 |  4J29、PEEK、旋盤/フライス

### 標準供給パラメータ

|  ロット範囲 |  ファミリーあたり50–5,000個
|  公差規格 |  DIN ISO 2768-mK、シール面は図面どおり
|  添付書類 |  EN 10204 3.1、材質証明書

## 業界シナリオ：小ロット、特殊材料、近道を許さない品質
半導体・真空装置メーカーが発注するのは小ロットの高精度コンポーネントです。真空チャンパ部品、CF フランジ、フィードスルー部品において差をつけるのは数量価格ではなく、希少材料への対応力と工程規律です。ガラス-金属封接用の Kovar（4J29）と、絶縁性・ガス放出が重要な部品用の PEEK は、多くの加工場が避ける二つの材料です。 この両材料は当社のポートフォリオで確立されています。Kovar 旋削は封接面品質を保つため管理された切削条件を要求し、PEEK 加工は絶縁材料の寸法を維持するため熱管理が必要です。50個からのロットは装置メーカーの発注パターンに適合します。
## 代表部品ファミリーと工程

|  部品名（独/英） |  代表材料 |  工程 |  標準ロット
|  Vakuumkammer-Komponenten（真空チャンパコンポーネント） |  6061 アルミ、316 |  フライス |  50–1,000個
|  CF-Flansche（CF フランジ） |  316LN |  旋盤 |  100–2,000個
|  Kovar-Teile（Kovar 部品） |  Kovar 4J29 |  スイス型旋盤 |  500–5,000個
|  PEEK-Komponenten（PEEK コンポーネント） |  PEEK |  旋削複合加工 |  200–2,000個
Kovar と PEEK の加工はこの分野の差別化能力です。いずれも切削パラメータを管理した確立された工程です。
## フロー：図面・サンプル承認・リピート量産
標準フロー：図面レビューと見積もりは48時間以内、初回サンプルは7–15日で納入、初ロット検査（FAI）と承認を経て、承認済み基準品に基づき量産へ移行します。ロット数は上の表のとおりです。単品のスペアパーツから数万個規模の注文まで、部品ファミリーに応じて対応します。 リピート注文では、治具・プログラム改訂・検査記録を保管しているため、追加呼び出し（コールオフ）でも承認済み初ロット品と同一品質を維持します。材料代替・公差更新・包装変更などの設計変更は、同じ記録に基づく管理された変更として処理します。
## 品質と書類
記載のない寸法には DIN ISO 2768-mK が既定公差として適用されます。金属部品には EN 10204 3.1 検査成績書が標準添付され、初ロット検査（FAI）が承認ステップを支え、必要に応じて RoHS/REACH 宣言も発行できます。表面処理・清浄度・包装要件は図面ごとに確認します。
## よくある質問
Kovar（4J29）の加工は可能ですか？可能です。管理された切削条件による Kovar 旋削は確立された工程で、典型用途はガラス-金属封接コンポーネントです。 PEEK を寸法劣化なく加工できますか？可能です。PEEK 加工には熱管理が必要で、寸法戦略はサンプリング前に図面に基づき協議します。 CF フランジの仕上げ面はどのようになりますか？シール面はフランジサイズに応じた図面仕様どおりに加工します。数値は生産前に確認します。 装置メーカーに合うロット数は？チャンパ部品は50–1,000個、Kovar と PEEK 部品ファミリーは最大5,000個です。
### 関連素材 · 関連サービス · 関連事例
[関連素材: Titanium ](https://www.sinbo-machining.com/ja/products/materials/titanium/)[· Plastic ](https://www.sinbo-machining.com/ja/products/materials/plastic/)[関連サービス: Cnc Machining ](https://www.sinbo-machining.com/ja/services/cnc-machining)[関連事例: High Tech Semicon ](https://www.sinbo-machining.com/ja/case/high-tech-semicon/)[· Vacuum Chamber Flange ](https://www.sinbo-machining.com/ja/case/vacuum-chamber-flange/)本ページは半導体・真空装置製造業界の代表的な適用シナリオを、この分野の典型的な要件に基づいてまとめたものです。特定の顧客や注文に紐づくものではなく、系列数量・材料・公差は各照会時に図面に基づき確認します。
## このような部品をご検討中ですか？
図面をお送りください。Sinbo Precision が材料・公差体系・ロット計画をレビューし、48時間以内に見積もりをご返信します。サンプルは7–15日です。 [48時間以内に見積もりを取得 ](https://www.sinbo-machining.com/ja/quote)